多晶硅，是單質硅的一種形態，是極為重要的優良半導體材料。多晶硅可用于半導體工業、電子信息產業、太陽能光伏電池產業*主要、*基礎的功能性材料，多晶硅生產主要是采用改良西門子法，改良西門子法生產多晶硅的反應器主要采用多晶硅還原爐，該方法是將多晶硅還原爐內安裝沉積載體通電發熱，在多晶硅還原爐內將高純度氯硅烷與氫氣的混合氣體加熱到1000℃以上發生反應生成硅，硅沉積在上述沉積載體上的過程。

在多晶硅生產過程中，還原爐鐘罩表面上會沉積一定厚度的多晶硅副產物、硅粉等，但是，多晶硅生產對還原爐的沉積環境的潔凈度要求特別關鍵，任何顆粒性雜質、物料等物質余留在爐內，都會對產品質量造成影響。所以，在還原爐運行一個周期結束后，都需要把鐘罩用行車吊到清洗裝置平臺上對鐘罩進行清洗干凈后，在裝硅芯進行下一個周期的化學氣相沉積。

通常，對于多晶硅還原爐鐘罩清洗主要包括清洗和烘干兩個過程，過去以人工清洗為主，不安全，不環保，清洗的一致性也難以保證，清洗效果差，自動化程度低，效率不高。為此德高潔自主研發并投入使用了一套自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統，主要用于西門子法多晶硅還原爐鐘罩(爐筒)內壁的全自動清洗和烘干。