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  • 技術文章

    多晶硅還原爐鐘罩內部清洗方法及清洗裝置

    2024-08-27 15:01:03  來源:德高潔
    在生產多晶硅的生產技術中,改良西門子法為主要的生產方法。在生產多晶硅棒的過程中,將三氯氫硅(SiHCl3)和氫氣(H2)按一定比例混合后通往還原爐鐘罩內,還原爐內設有有用于提供附著體的硅芯。在反應器溫度達1000~1200℃時,三氯氫硅被氫氣還原后,生成硅并不斷附著在硅芯上,*終得到硅棒。多晶硅還原爐是這一生產過程中至關重要的設備,而鐘罩作為還原爐的重要組成部分,其功能和維護同樣不可忽視。
     
    多晶硅還原爐內部污垢清洗設備

    一、多晶硅還原爐鐘罩的作用

    1、功能: 鐘罩是還原爐中的關鍵部件,它負責收集還原過程中產生的氣體,防止這些氣體直接進入爐體或其他部位,保證爐內環境的穩定。
    2、結構: 鐘罩通常由耐高溫和耐腐蝕材料制成,能夠承受還原過程中產生的高溫和化學反應產生的腐蝕性氣體。

    二、清洗的必要性

    1、防止堵塞: 長時間使用后,鐘罩內部可能積累沉積物和污染物,這些沉積物可能導致氣體流動不暢,甚至堵塞氣體通道。
    2、提高效率: 定期清洗鐘罩可以確保氣體的順暢流動,維持爐內的溫度和化學反應穩定,從而提高生產效率和產品質量。
    3、減少故障: 清洗可以減少設備故障的風險,延長鐘罩的使用壽命。
     
    多晶硅還原爐內部污垢清洗

    三、清洗步驟
    1、停機準備: 在進行清洗之前,必須確保還原爐已經完全停機并冷卻,以避免高溫和潛在的危險。
    2、拆卸鐘罩: 根據設備的設計,拆卸鐘罩可能需要使用專用工具。注意拆卸過程中保護好周圍的設備和管道。
    3、初步檢查: 檢查鐘罩的狀態,記錄任何明顯的損壞或磨損。必要時,進行修理或更換部件。

    四、清洗過程:
    德高潔自主研發并投入使用了一套多晶硅還原爐鐘罩自動清洗烘干系統,由高壓熱水清洗系統、熱風凈化烘干系統、清洗工作臺及管道、電氣控制系統等組成,能夠自動化完成還原爐鐘罩內部的自動清洗及烘干,提高還原爐鐘罩清洗效率及質量。
     

     
    1、系統清洗流程:還原爐鐘罩到位→預清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走,一套系統實現多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程,可實現遠程對樓下設備的控制和主要參數監控。
    多晶硅還原爐鐘罩前后清洗對比

    2、系統清洗原理:工作原理以高壓水動力裝置產生的熱水射流為動力,以水力自驅動三維的洗罐器為執行噴頭,在一定的工作時間形成360°的網狀噴射表面,完成鐘罩內部表面的水力掃射,用氫氧化鈉溶液等為主要清洗液,用脫鹽水預洗、漂洗,高純水沖洗,完成清洗過程。清洗過程中三維清洗噴頭在選裝過程中可自動升降,因此可以全面的對還原爐鐘罩內部進行清洗,確保還原爐鐘罩內部的清洗質量。

    德高潔是一家成立于1994年的清潔環保設備供應商,公司擁有20余人研發團隊,旗下部署工藝組、技術組、質檢組,實時管控產品性能、質量,并通過ISO9001質量體系認證,長期服務于國企、軍工、外資、上市公司等企業,德高潔自2007年起便開始研發高效率、高環保、高質量的自動化清洗系統,期間自主研發了針對罐車、反應釜、多晶硅還原爐鐘罩、噸桶、罐式集裝箱、蒸發罐、發酵罐等容器自動清洗系統,可根據企業實際生產工況量身定制自動化清洗解決方案,如您有需求,歡迎電話聯系,我們將竭誠為您服務
     
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    李周 先生
    售前工程師
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